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一、紫外二向色镜优点：

1. 平行度可达到10”以内，装配精度高，可保证使用过程中衰减最小；

2. 超光滑表面，高激光阈值；

3. 高面型精度，成像质量良好，光效率达到最高性价比；

4. 反射率可达到95%以上。

二、主要技术参数

三、紫外二向色镜特性

紫外二向色镜是DI曝光系统中DMD位置的重要组成元件，

可有效过滤掉蓝光、绿光、红光。

光路图如下：